
KNOWLEDGE CENTER
ครบทุกองค์ความรู้ไขทุกข้อสงสัย ด้วยศูนย์กลางด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์
ไม่เพียงแค่ยกระดับบุคลากรด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์ให้เชี่ยวชาญทัดเทียมระดับสากล และ
สร้างบุคลากรรุ่นใหม่ในวงการไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของไทยเท่านั้น เรายังมุ่งพัฒนาองค์ความรู้ต่างๆ ด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์เพื่อปูพื้นฐานและสร้างความเข้าใจแก่ผู้ประกอบการและผู้ที่สนใจ เพื่อเสริมสร้างความรู้และนำไปประยุกต์ใช้จริงในธุรกิจต่อไป
ความรู้ทั่วไป |
|
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
OUR RESEARCH

High-dielectric constant AlON prepared by RF gas-timing sputtering for high capacitance density
This paper presents the method to prepare and characterize high-dielectric constant aluminum oxynitride (AlON) formed by RF gas-timing sputtering. AlON layers of 725nm have been pr...



